Christopher L. Borst
Chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses
Christopher L. Borst, Christopher Lyle Borst, William N. Gill, Ronald J. Gutmann · 2002
פרטי הספר
- שנה
- 2002
- שפה
- English
- הוצאה
- Springer
- מהדורות
- 3
- עמודים
- 248
- ISBN
- 9781402071935
מקור הנתונים: Wikidata