Klaus K. Schuegraf
Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques
Klaus K. Schuegraf · 2001
על הספר
Traces the technology behind the spectacular growth in the silicon semiconductor industry and continued trend in miniaturization over the last 20 years.
פרטי הספר
- שנה
- 2001
- שפה
- English
- הוצאה
- Elsevier
- מהדורות
- 1
- עמודים
- 659
- ISBN
- 9780815517788
מקור הנתונים: Wikidata