International Conference on Microlithography (1991 Rome, Italy)
Microcircuit engineering 91
International Conference on Microlithography (1991 Rome, Italy), A. Tucciarone, A. Paoletti · 1992
פרטי הספר
- שנה
- 1992
- שפה
- English
- הוצאה
- Elsevier Science Publishing Company
- מהדורות
- 1
- עמודים
- 582
- ISBN
- 9780444895097
מקור הנתונים: Wikidata