James R. Sheats
Microlithography
James R. Sheats, Bruce W. Smith, Kazuaki Suzuki · 2024
פרטי הספר
- שנה
- 2024
- שפה
- English
- הוצאה
- Taylor & Francis Group
- מהדורות
- 7
- עמודים
- 850
- ISBN
- 9781032836737
מקור הנתונים: Wikidata
James R. Sheats, Bruce W. Smith, Kazuaki Suzuki · 2024
מקור הנתונים: Wikidata
