Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Jarek Dabrowski · 2004
איפה לקנות
בדקו את המחיר העדכני באמזון. אנחנו לא מציגים מחירים כי הם משתנים מדי יום.
לצפייה באמזוןקישור שותפים. בתור שותפים של Amazon אנחנו מרוויחים מרכישות מתאימות.
על הספר
Predictive simulation of semiconductor processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.
פרטי הספר
- שנה
- 2004
- שפה
- English
- סדרה
- Springer Series in MATERIALS SCIENCE -- 72
- הוצאה
- Springer Berlin Heidelberg
- מהדורות
- 1
- עמודים
- 490
- ISBN
- 9783642058042
מקור הנתונים: Wikidata
