Paul W. Mertens
Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV
Paul W. Mertens, Kurt Wostyn, Marc Meuris, Marc Heyns · 2021
פרטי הספר
- שנה
- 2021
- שפה
- English
- הוצאה
- Trans Tech Publications, Limited
- מהדורות
- 2
- ISBN
- 9783035718010
מקור הנתונים: Wikidata