Paul Mertens
Ultra clean processing of silicon surfaces VII
Paul Mertens, International Symposium on Ultra Clean P, Marc Heyns, Marc Meuris · 2005
פרטי הספר
- שנה
- 2005
- שפה
- English
- הוצאה
- Scitec Pubns
- מהדורות
- 2
- עמודים
- 398
- ISBN
- 9783908451068
מקור הנתונים: Wikidata